Lineaarsetele juhtsiinidele ja liuguritele juba üle kümne aasta keskendunud tootjana saame pooljuhtseadmete ehitajatelt sageli küsimusi: mis on liikuvate komponentide stabiilsena hoidmise võti pika-takti ja suure{1}}koormusega rakendustes?
Vastus, mis tuleneb meie tegelikust-kogemusest koostöös kümnete pooljuhtide tootjatega, peitub õige laiendatud liuguri valimises-ja meieHG-seeria pikendatud liuguron spetsiaalselt loodud selle probleemi lahendamiseks.
Pooljuhtide tööstuses, kus isegi 0,1 μm positsioneerimisviga võib viia plaatide praagini ja tootmise kadumiseni, ei ole liuguri valik ainult komponendi otsus,{1}}see on üldise töötõhususe oluline tegur.
1. Liugurite pooljuhtseadmete nõudlikud nõuded
Pooljuhtide tootmine tugineb suurel määral-pika liikumisega liikumissüsteemidele, alates suure-vormingus vahvlite käsitsemise robotitest ja kontrollietappidest kuni täppissondeerimisseadmete ja litograafiamasina komponentideni.
Need süsteemid töötavad ööpäevaringselt kontrollitud puhta ruumi keskkondades, kus järjepidevus ja stabiilsus ei ole -läbirääkimistel.
Tavalised liugurid, mis on küll sobivad lühikeste{0}}taktiliste rakenduste jaoks, nagu väikesemahuline-automaatika, on sageli hädas läbipaindega, kui need lükatakse pikemaks (tavaliselt 1,5 m või enamaks).
See -isegi väike{1}}läbipaine põhjustab positsioneerimisvigu, vibratsiooni suurenemist ja nii liuguri kui ka juhtrööpa enneaegset kulumist.
Aja jooksul tähendab see sagedasemat hooldust, planeerimata seisakuid ja väiksemaid tootmiskulusid{0}}, mis kasvavad pooljuhtide tootjate jaoks kiiresti.
2. Kuidas HG seeria laiendatud liugur neid valupunkte lahendab?
See on koht, kus meieHG-seeria pikendatud liugureristub standardvalikutest. Erinevalt tavalistest liuguritest, millel on lühem korpus ja piiratud kontakt juhtsiiniga, on HG-seeria pikendatud liuguril pikendatud kere disain, mis suurendab liuguri ja siini vahelist kontaktpinda 35%. See lisakontakt ei ole lihtsalt disainivalik-, vaid see on loodud suurendama jäikust 40% võrreldes standardmudelitega, kõrvaldades tõhusalt läbipainde isegi suure koormuse (kuni 500 kg) ja pikkade liigutuste korral. Puhastes ruumides pidevalt töötavate pooljuhtseadmete puhul ei ole see stabiilsuse tase lihtsalt hea,-su{8}}et-on vaja säilitada ühtlane täpsus ja vältida kulukaid vigu.
3. Tegelik juhtum: vahvlisondeerimisseadmed läksid igakuiselt remondilt kuuekuuliseks probleemivabaks
Selle perspektiivi vaatamiseks vaatame meie hiljutisest koostööst{0}}näidet maailmast. Tegime koostööd pooljuhtseadmete tootjaga, kes on spetsialiseerunud vahvlite sondeerimissüsteemidele-, mis nõuavad ülitäpset liikumist, et testida vahvli elektrilist jõudlust. Nende algses seadistuses kasutati standardseid liugureid, mis hakkasid pärast 8-kuulist pidevat kasutamist kõrvale kalduma. See kõrvalekalle viis sondide valesti joondamiseni, mille tulemuseks olid ebatäpsed katseandmed ja plaadid. Pärast meie HG-seeria laiendatud liugurile üleminekut nägid nad koheseid ja mõõdetavaid tulemusi: positsioneerimise triivimine oli täielikult kõrvaldatud, hooldussagedus langes 50% (igakuselt kahe-kuu kontrollimisele) ja nende tootmistootlus paranes 7%{11}}, mis on märkimisväärne kasum tööstuses, kus isegi 1% saagikuse paranemine võib tähendada tuhandeid kokkuhoidu.
4. Puhta ruumi ühilduvus ja pikk kasutusiga
Teine oluline eelisHG-seeria pikendatud liuguron selle ühilduvus pooljuhtide puhta ruumi keskkonna rangete nõuetega. Optimeerisime tihendi disaini topelt-huulega fluorokummist tihendi ja labürindi õhuvoolutõkkega, mis minimeerib osakeste teket, et see vastaks ISO klassi 1 puhta ruumi standarditele. See on kriitiline pooljuhtide tootmisel, kus isegi üks osake (nii väike kui 0,3 μm) võib saastada vahvleid ja rikkuda kogu tootmispartiid. Lisaks kasutab HG-seeria laiendatud liugur kõrge-kulumiskindlat vaakum-degaseeritud laagriterast, mis pikendab selle kasutusiga üle 100 000 tunnini{10}}palju pikemaks kui tavaliste liugurite keskmine 60 000 tundi. See mitte ainult ei vähenda asenduskulusid, vaid vähendab ka planeerimata seisakuid, hoides tootmisliinid sujuvalt töös.
5. Lihtne integreerimine ilma suuremate ümberkujundusteta
Samuti väärib märkimist, et HG-seeria laiendatud liugur on loodud hõlpsaks integreerimiseks olemasolevate pooljuhtseadmetega. Erinevalt mõnest laiendatud liugurist, mis nõuavad suuremaid konstruktsioonimuudatusi, sobib meie HG-seeria laiendatud liugur standardsete juhtsiinide profiilidega, muutes selle enamiku süsteemide versiooniuuenduse{1}}languse. See tähendab, et tootjad ei pea investeerima kulukatesse seadmete ümberkujundustesse, et saada kasu nende paremast stabiilsusest ja vastupidavusest -veel üks põhjus, miks sellest on saanud pooljuhtseadmete ehitajate valik-.
6. Järeldus
Pooljuhtide tööstuses, kus täpsus, töökindlus ja tõhusus on kõik, võib õige lineaarne liugur muuta kõik. Tavalised liugurid jäävad sageli pika-käiguga ja suure-koormusega rakendustes alla, kuid meie HG-seeria laiendatud liugur on loodud vastu pidama ka kõige raskemates pooljuhtide tootmise tingimustes. Alates selle laiendatud kerekonstruktsioonist, mis suurendab jäikust, kuni puhta ruumiga-ühilduva tihendi ja pika kasutuseaga, on see loodud järjepidevuse ja jõudluse tagamiseks, mida seadmete ehitajad vajavad oma liinide tõhusaks ja kasumlikuks tööks.
Valige õige pikendatud liugur – teie pooljuhtseadmed töötavad ühtlaselt ja kestavad kauem
